2025/05/30
2025公開課
2025年5月底,企航顧問為晟碟半導體(上海)有限公司提供的《ISO 14644潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境國際標準》高級研修班圓滿結(jié)束。
ISO 14644簡介
ISO 14644是由國際組織標準(ISO)制定的潔凈室標準,雖然許多國家都有自己的一套指南、規(guī)則、法規(guī)和分類,但 ISO 14644 被認為是國際潔凈室的黃金標準。ISO 14644它分為7個部分:
第 1 部分:空氣潔凈度的分類
第 2 部分:測試和監(jiān)控規(guī)范,以證明持續(xù)符合 ISO 14644-1
第 3 部分:計量和測試方法
第 4 部分:設(shè)計、施工和啟動
第 5 部分:操作
第 6 部分:詞匯
第 7 部分:分離式外殼(清潔空氣罩、手套箱、隔離器、微型環(huán)境)
ISO 14644-1:2015 空氣清潔度分類
這是ISO 14644的第一部分,也是它的基礎(chǔ):ISO分類。通過保持這種分類,您將向周圍的每個人傳達您的潔凈室有多干凈。
這種分類基于潔凈室中空氣顆粒的濃度,基于在潔凈室各個部分進行的分析,以及顆粒總濃度及其大小的平均值。有 9 種分類,ISO 1 是最干凈的,ISO 9 是常規(guī)空氣室。
顆粒大小和濃度應使用光散射空氣顆粒計數(shù)器確定。下表概述了每個分類的限制。
ISO 14644-2:2015 測試和監(jiān)控規(guī)范
ISO 14644的第二部分概述了監(jiān)控潔凈室的最低要求。它強調(diào)連續(xù)監(jiān)測,與某些潔凈室中喜歡的偶爾監(jiān)測相比,可以更好地了解潔凈室的清潔度。為了制定監(jiān)測計劃,ISO 14644-2:2015還要求進行戰(zhàn)略風險評估。
ISO 14644-3:2015 計量和測試方法
在ISO 14644的第三部分中,您將找到支持潔凈室操作和清潔度水平以維持分類的測試方法的要求。這些測試方法基于您的氣流策略。指定了兩種類型的氣流:單向和非單向。
還需要在三種狀態(tài)下進行測試:竣工、靜態(tài)和運行。本節(jié)定義這些狀態(tài),推薦不同的測試工具,以及如何執(zhí)行這些過程。如果您希望分類并保持該分類,則需要遵循本節(jié)中提出的測試方法。
下圖描述了ISO 14644-3定義的過濾器中的泄漏測試。
ISO 14644-4:2001 設(shè)計、施工和啟動
您會注意到,ISO 14644 第4 部分的最新版本實際上是 2001 年的。它指定了您應該如何設(shè)計和建造潔凈室。真正的污染控制從這個級別開始,因此熟悉本節(jié)非常重要。本節(jié)提供這些準則,以及啟動和資格要求。
ISO 14644-5:2004 操作
如果您是運營經(jīng)理,ISO 14644的第五部分適合您!它概述了如何規(guī)劃潔凈室的使用和操作。
這是一個相當廣泛的部分,因為它旨在用于許多行業(yè)。因此,您還應該熟悉潔凈室中的特定安全需求,以及國家和地方的安全法規(guī)。
它參考了ISO 14644-2和ISO 14644-3,但沒有詳細介紹它們。為了充分利用本節(jié),您還應該熟悉這些內(nèi)容。
ISO 14644-6:2007 詞匯
ISO 14644的第六部分非常簡單:它定義了指南中使用的詞匯。
ISO 14644-7:2004 分隔式外殼
根據(jù)行業(yè)的不同,ISO 14644-7的解釋會有所不同。術(shù)語“分離式外殼”泛指多種配置。這可能包括空氣罩、手套箱、隔離器和微型環(huán)境。這些是在人和內(nèi)容物之間設(shè)置障礙的裝置。它們通過物理或動態(tài)屏障提供不同級別的保護。它們還可能需要特殊的氛圍。
這些通常是潔凈室內(nèi)的結(jié)構(gòu):而不是分離的環(huán)境。它們可以是移動的,也可以是潔凈室中的固定空間。它們有多種用途。因此,本節(jié)的定義必須非常廣泛。
一般來說,ISO 14644-7定義了“分離設(shè)備的設(shè)計,構(gòu)造,安裝,測試和批準的最低要求,在與ISO 14644-4和14644-5中所述的潔凈室不同的方面。
關(guān)于晟碟半導體
晟碟半導體(上海)有限公司,前身為西部數(shù)據(jù)全資子公司,于2006年8月在上海市閔行區(qū)紫竹高新區(qū)注冊成立。公司專注于先進閃存產(chǎn)品的研究、封裝和測試,是全球規(guī)模較大的閃存產(chǎn)品封裝測試工廠之一。晟碟半導體上海有限公司在2022年度榮獲了世界經(jīng)濟論壇頒發(fā)的“端對端燈塔工廠”和“可持續(xù)發(fā)展燈塔工廠”兩項殊榮,成為全球首家同時獲得這兩項稱號的公司。2024年9月,長電科技收購晟碟半導體(上海)有限公司80%股權(quán)項目完成交割。
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